S.Nagahara,T.Kozawa et al.: "Transient Species Induced in X-ray Chemically Amplified Positive Resist : Posy-exposure Delay Effect" J.Photopolym.Sci.Technol.9. 619-626 (1996)
S.Nagahara,T.Kozawa et al.: "Transient Species Induced in X-ray Chemically Amplified Positive Resist : Posy-exposure Delay Effect" J.Photopolym.Sci.Technol.9. 619-626 (1996)
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S.Nagahara、T.Kozawa 等人：“X 射线化学放大正性抗蚀剂中诱导的瞬态物质：正曝光延迟效应”J.Photopolym.Sci.Technol.9。
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