低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
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用于低功率设备的静电驱动硅纳米机电开关
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
飯塚啓，小野崇人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Mizuike;H. Himura et al.;伊藤充貴，中村允一，塩田達俊;飯塚啓，小野崇人
