真空中低摩擦特性を有するDLC膜形成技術の検討

真空中低摩擦特性を有するDLC膜形成技術の検討
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真空低摩擦DLC膜成膜技术研究

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡部 修一
渡部 修一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
ナッタナンムルサラドゥ;アナックカンタチャワナ;岡田英一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部 修一

文献摘要

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