熱酸化Siへの金属ナノ粒子分散に伴うナノポア形成
熱酸化Siへの金属ナノ粒子分散に伴うナノポア形成
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纳米孔的形成与金属纳米颗粒分散到热氧化硅中相关
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内藤宗幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
立溝 優羽;内藤宗幸
