Effects of the different heat treatments on the growth and formation of iron silicide on Si(100)

Effects of the different heat treatments on the growth and formation of iron silicide on Si(100)
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不同热处理对Si(100)上硅化铁生长形成的影响

DOI:
10.1016/s0040-6090(98)01514-4
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发表时间:
1999
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Chong
Chong
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Jae;S. K. Lee;K. Han;K. An;Chong

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