Microdischarge extreme ultraviolet source with alkali metal vapor for surface morphology application
Microdischarge extreme ultraviolet source with alkali metal vapor for surface morphology application
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用于表面形貌应用的碱金属蒸气微放电极紫外光源
DOI：
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发表时间：
2011
影响因子：
3.2
通讯作者：
and Gerry O'Sullivan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeshi Higashiguchi;Hiromitsu Terauchi;Takamitsu Otsuka;Mami Yamaguchi;Keisuke Kikuchi;Noboru Yugami;Toyohiko Y atagai;Wataru Sasaki;Rebekah D'Arcy ;Padraig Dunne;and Gerry O'Sullivan
