Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate
Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate
复制标题
LTCC 衬底上电容性硅谐振器的设计与制作
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takahito Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toan Nguyen Van;Hidetoshi Miyashita;Masaya Toda;Yusuke Kawai;Takahito Ono
