Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation onto a-Si Film Realizing Low-Temperature Crystal Growth
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复制标题
激光等离子体软X射线照射非晶硅薄膜实现低温晶体生长
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Mochizuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Matsuo;Y. Takanashi;A. Heya;S. Isoda;K. Masuda;S. Amano;S. Miyamoto;T. Mochizuki
