永井正敏,岸田浩司,尾見信三: "塩化タングステンを原料とした窒化タングステン薄膜の減圧熱CVD合成" 日本化学会誌. 1996. 368-374 (1996)

永井正敏,岸田浩司,尾見信三: "塩化タングステンを原料とした窒化タングステン薄膜の減圧熱CVD合成" 日本化学会誌. 1996. 368-374 (1996)
复制标题

Masatoshi Nagai、Koji Kishida、Shinzo Omi:“以氯化钨为原料的氮化钨薄膜的低压热CVD合成”日本化学学会杂志1996年。368-374(1996)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献