Absorption of pulsed CO2 laser in silicon and resulting laser ablation and surface damage formation
Absorption of pulsed CO2 laser in silicon and resulting laser ablation and surface damage formation
复制标题
硅中脉冲 CO2 激光的吸收以及由此产生的激光烧蚀和表面损伤形成
DOI：
10.1016/s1288-3255(99)80003-3
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Mabuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sakka;Satoshi Akiba;Akira Kuroyanagi;Kokichi Hotta;Y. Ogata;M. Mabuchi
