アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマアッシングの酸素濃度依存性と分光特性
アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマアッシングの酸素濃度依存性と分光特性
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氩/氧混合气体高频空心阴极放电等离子体灰化的氧浓度依赖性和光谱特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本田進之介，井野雄太，福永悠人，大津康徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安田洸也;大津康徳;田中黎，中嶋崇博，大津康徳;本田進之介，井野雄太，福永悠人，大津康徳
