Variations in Electromagnetic Fields Spatially Induced for Indirect Discharges of ESD-Gun onto Vertical Coupling Plane

Variations in Electromagnetic Fields Spatially Induced for Indirect Discharges of ESD-Gun onto Vertical Coupling Plane
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ESD 枪在垂直耦合平面上间接放电引起的电磁场空间变化

DOI：
10.1541/ieejfms.131.119
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发表时间：
2011
期刊：
The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan.A
影响因子：
--
通讯作者：
N. Yamamoto
N. Yamamoto
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
T. Tsuji;Y. Taka;O. Fujiwara;N. Yamamoto

文献摘要

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