Yukio Watanabe: "Study on growth processes of particles in rf SiH_4 plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 351-352 (1997)

Yukio Watanabe: "Study on growth processes of particles in rf SiH_4 plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 351-352 (1997)
复制标题

Yukio Watanabe:“rf SiH_4 等离子体中粒子生长过程的研究”Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献