(特別講演)低温・高速・高品質を実現する大気圧プラズマプロセスによる薄膜形成技術
(特別講演)低温・高速・高品質を実現する大気圧プラズマプロセスによる薄膜形成技術
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（专题讲座）利用常压等离子体工艺实现低温、高速、高品质的薄膜形成技术
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
米谷玲皇;割澤伸一;石原直;安武潔
