大気圧ヘリウムプラズマを用いたポリスチレンナノ粒子アレイの精密加工とプラズモニックセンサーへの応用
大気圧ヘリウムプラズマを用いたポリスチレンナノ粒子アレイの精密加工とプラズモニックセンサーへの応用
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利用常压氦等离子体精密加工聚苯乙烯纳米粒子阵列及其在等离子体传感器中的应用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田修平，是津信行，遠藤勝義，山村和也，手嶋勝弥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉嶺 浩司;内田 修平;是津 信行;手嶋 勝弥;内田修平，是津信行，遠藤勝義，山村和也，手嶋勝弥
