エッチング液中での単結晶シリコンのレーザ深溝加工
エッチング液中での単結晶シリコンのレーザ深溝加工
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蚀刻液中单晶硅激光深槽加工
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
細野高史，大瀬良海人，宮澤大樹，榊和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
洞出光洋;小嶋勝,神山和人,プワナンチュムトン,前泰志,新井健生;細野高史，大瀬良海人，宮澤大樹，榊和彦
