光電子集積三次元LSIのための高効率光カップラの作製
光電子集積三次元LSIのための高効率光カップラの作製
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光电集成3D LSI高效光耦合器的制作
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小柳光正
中科院分区:
文献类型:
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作者:
乗木暁博;李康旭;〓志哲;福島誉史;田中徹;小柳光正