Single Cristal Nano-Resonators at 100 MHz Fabricated by a Simple Batch Process

Single Cristal Nano-Resonators at 100 MHz Fabricated by a Simple Batch Process
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通过简单的批量工艺制造 100 MHz 单晶纳米谐振器

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Digest of Technical Papers. of 13^<th> Int.Conf.on Solid-Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2005), Seoul, Korea 2
影响因子:
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通讯作者:
H.Fujita
H.Fujita
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A.Tixier-Mita;K.Nakamura;A.Laine;H.Kawakatsu;H.Fujita

文献摘要

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