脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究

脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究
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DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
新技术新工艺
影响因子:
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通讯作者:
Au
Au
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
顿丹丹;DUN D;an(School of Mechanical Engineering;Au

文献摘要

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