自支撑硼掺杂金刚石膜残余应力和微观应力的XRD分析
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐跃
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金曾孙;李柳暗;张彤;李红东;吕宪义;徐跃
