エピタキシャル成長単結晶SiC薄膜の機械的特性に関する研究
エピタキシャル成長単結晶SiC薄膜の機械的特性に関する研究
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外延生长单晶SiC薄膜力学性能研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
角田陽
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小島正行;諸貫信行;角田陽
