Micropatterned 1-Alkene Self-Assembled Monolayer on Hydrogen-Terminated Silicon by Vacuum Ultraviolet Lithography

Micropatterned 1-Alkene Self-Assembled Monolayer on Hydrogen-Terminated Silicon by Vacuum Ultraviolet Lithography
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通过真空紫外光刻在氢封端硅上微图案化 1-烯烃自组装单层

DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys. 42
影响因子:
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通讯作者:
N.Saito et al.
N.Saito et al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Hiroyuki Sugimura;Nagahiro Saito;Sun-Hyung Lee;Osamu Takai;H.Sugimura et al.;Y.Wu et al.;N.SAito et al.;L.Hong et al.;L.Hong et al.;L.Hong et al.;N.Saito et al.

文献摘要

参考文献

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DOI: 10.1143/jjap.40.4373
发表时间: 2001
影响因子: 1.5
作者:
H. Sugimura;Kazuyuki Hayashi;N. Saito;O. Takai;N. Nakagiri
通讯作者: N. Nakagiri