H.Sugai, I.Ghanashev et.all: "Electron energy distribution functions and the influence on fluorocarbon plasma chemistry"Plasma Sources Science and Technology. 10. 378-385 (2001)
H.Sugai, I.Ghanashev et.all: "Electron energy distribution functions and the influence on fluorocarbon plasma chemistry"Plasma Sources Science and Technology. 10. 378-385 (2001)
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H.Sugai、I.Ghanashev 等人：“电子能量分布函数及其对碳氟化合物等离子体化学的影响”等离子体源科学与技术。
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