Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses
Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses
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通过亚微米聚焦相干极紫外高次谐波脉冲对 PMMA 和金属纳米粒子抗蚀剂进行表面处理
DOI：
10.1364/ol.392695
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
3.6
通讯作者：
Kuroda Ryunosuke
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sakaue Kazuyuki;Motoyama Hiroto;Hayashi Ryosuke;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru;Shibuya Tatsunori;Ishino Masahiko;Dinh Thanh-Hung;Ogawa Hiroshi;Higashiguchi Takeshi;Nishikino Masaharu;Kuroda Ryunosuke
