スパッタリングにより作製したSn薄膜の表面形態に及ぼす基板の影響
スパッタリングにより作製したSn薄膜の表面形態に及ぼす基板の影響
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基体对溅射Sn薄膜表面形貌的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂真澄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松浦稜;李渊;坂真澄
