L.HE: "SiO and SiH vibrational properties in amorphous SiO_x : H films (0<x<2.0) prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition" Journal of Non-Crystalline Solids. (in press). (1995)

L.HE: "SiO and SiH vibrational properties in amorphous SiO_x : H films (0<x<2.0) prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition" Journal of Non-Crystalline Solids. (in press). (1995)
复制标题

L.HE:“非晶 SiO_x 中的 SiO 和 SiH 振动特性:通过等离子体增强化学气相沉积制备的 H 薄膜 (0<x<2.0)”非晶固体杂志。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献