Siビーズ核形成層によるハイパフォーマンス多結晶Siの育成
Siビーズ核形成層によるハイパフォーマンス多結晶Siの育成
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使用硅珠成核层生长高性能多晶硅
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村松哲郎;高橋勲;G. Anandha babu;宇佐美徳隆
