Manipulation of fine objects by probes of the electrostatic chuck type
Manipulation of fine objects by probes of the electrostatic chuck type
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通过静电卡盘式探头操作精细物体
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kobayashi Mikihiko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Konno Takeshi;今野武志;小林幹彦;江頭満;Kobayashi Mikihiko
