超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの微細加工に関する基礎的検討
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの微細加工に関する基礎的検討
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超临界二氧化碳微细加工聚酰亚胺的基础研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
滝嶌繁樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川優美;福井直也;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
