Evaluation of Elastic Modulus and Strength of SiN Thin Film Micro Elements

Evaluation of Elastic Modulus and Strength of SiN Thin Film Micro Elements
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SiN薄膜微元件的弹性模量和强度评价

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc.81st Annual Meeting of JSME Kansai, Japan No.054-1
影响因子：
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通讯作者：
K.Yamasaki
K.Yamasaki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Minoshima;A.Sugeta;M.Sakihara;K.Yamasaki

文献摘要

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