MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应

MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应
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DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
太赫兹科学与电子信息学报
影响因子:
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通讯作者:
刘珉强
刘珉强
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
许蔚;杨杰;刘珉强

文献摘要

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