Precursors of a-CNx(:H) films from the decompositions of BrCN and CH3CN with the discharged products of Ar
Precursors of a-CNx(:H) films from the decompositions of BrCN and CH3CN with the discharged products of Ar
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BrCN 和 CH3CN 分解以及 Ar 放电产物产生的 a-CNx(:H) 薄膜的前体
DOI：
10.1016/j.diamond.2011.12.026
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发表时间：
2012
影响因子：
4.1
通讯作者：
and A. Wada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Ito;A. Yamamoto;H. Araki;and A. Wada
