基板及びターゲット表面に水蒸気吹き付けした低温スパッタ成膜による酸化ニッケル薄膜の評価
基板及びターゲット表面に水蒸気吹き付けした低温スパッタ成膜による酸化ニッケル薄膜の評価
复制标题
通过向基材和靶材表面喷射水蒸气的低温溅射形成的氧化镍薄膜的评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
木場隆之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
片岡政貴;阿部良夫;川村みどり;金敬鎬;木場隆之
