Ga-doped ZnO transparent conducting films prepared by helicon-wave-excited plasma sputtering
Ga-doped ZnO transparent conducting films prepared by helicon-wave-excited plasma sputtering
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螺旋波激发等离子体溅射制备Ga掺杂ZnO透明导电薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. F. Chichibu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Masaki;H. Nakanishi;M. Sugiyama;S. F. Chichibu
