ラダー構造HSQを転写材料として用いた室温ナノインプリント

ラダー構造HSQを転写材料として用いた室温ナノインプリント
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使用梯形结构HSQ作为转移材料的室温纳米压印

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松井真二
松井真二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中松健一郎;竹内義行;種市順昭;松井真二

文献摘要

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