多層コーティングチップによる損耗速度計測

多層コーティングチップによる損耗速度計測
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使用多层涂层芯片测量磨损率

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
プラズマ応用科学 17-1
影响因子:
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通讯作者:
小林明
小林明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
張科寅;横田茂;福島靖博;原健太郎;荒川義博;小紫公也;小林明

文献摘要

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