N.Koshida: "Microlithographic behavior of transition metal oxide resists exposed to focused ion beam." J.Vac.Sci.Technol.B. 8. 1093-1096 (1990)
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N.Koshida：“过渡金属氧化物的微光刻行为抵抗暴露于聚焦离子束的影响。”
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