Integration of piezoelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 on single crystal diamond for MEMS pressure sensor
Integration of piezoelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 on single crystal diamond for MEMS pressure sensor
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单晶金刚石上集成压电Pb(Zr0.52Ti0.48)O3用于MEMS压力传感器
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Y.Liao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shunsuke Yamaki;Masahide Abe;Masayuki Kawamata;M.Y.Liao
