B導入による高移動度4H-SiC MOSFETの作製と界面トラップ評価
B導入による高移動度4H-SiC MOSFETの作製と界面トラップ評価
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通过引入B制造高迁移率4H-SiC MOSFET并评估界面陷阱
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岡本 大,染谷 満,原田信介,小杉亮治,米澤喜幸,矢野裕司
中科院分区:
文献类型:
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作者:
D. Okamoto;M. Sometani;S. Harada;R. Kosugi;Y. Yonezawa;and H. Yano;岡本 大,染谷 満,原田信介,小杉亮治,米澤喜幸,矢野裕司