Flexible Contact Pressure Sensor based on Ultrathin Piezoresistive Silicon Membrane Capable of Strain Compensation
Flexible Contact Pressure Sensor based on Ultrathin Piezoresistive Silicon Membrane Capable of Strain Compensation
复制标题
基于具有应变补偿功能的超薄压阻硅膜的柔性接触压力传感器
DOI：
10.18494/sam.2018.2033
复制
发表时间：
2018
影响因子：
1.2
通讯作者：
Kobayashi Takeshi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takei Yusuke;Goto Shintaro;Takamatsu Seiichi;Itoh Toshihiro;Kobayashi Takeshi
