K.Sasaki 他: "Determination of fluorine atom density in reactive plasmas by vacuum ultraviolet absorption spectroscopy at 95.85 nm"Rev.Sci.Instrum.. 70・1. 76-81 (1999)
K.Sasaki 他: "Determination of fluorine atom density in reactive plasmas by vacuum ultraviolet absorption spectroscopy at 95.85 nm"Rev.Sci.Instrum.. 70・1. 76-81 (1999)
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K. Sasaki 等人：“通过真空紫外吸收光谱法在 95.85 nm 处测定反应等离子体中的氟原子密度”Rev.Sci.Instrum.. 70・1 (1999)。
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