Two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin microplasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources
Two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin microplasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources
复制标题
用于极紫外光刻光源的激光产生的锡微等离子体的电子密度和温度的二维分布
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Mizoguchi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
