ICPエッチングがAlGaN/GaN界面の2DEGに与える影響の評価
ICPエッチングがAlGaN/GaN界面の2DEGに与える影響の評価
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ICP刻蚀对AlGaN/GaN界面2DEG影响的评估
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡部 平司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野崎 幹人;寺島 大貴;吉越 章隆;細井 卓治;志村 考功;渡部 平司
