RIE of Solenoidal Microcoil Glass Mould with Integrated Sample Container for Mocro-MRI

RIE of Solenoidal Microcoil Glass Mould with Integrated Sample Container for Mocro-MRI
复制标题

用于 Mocro-MRI 的带有集成样品容器的螺线管微线圈玻璃模具的 RIE

DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
Technical Digest of MEMS 2007
影响因子:
--
通讯作者:
M.J.K.Klein et al.
M.J.K.Klein et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Sakai;H.;M.J.K.Klein et al.

文献摘要

相似文献