ドーパントイオン照射過程のリアルタイムSTM察のためのイオンビーム照準システム開発
ドーパントイオン照射過程のリアルタイムSTM察のためのイオンビーム照準システム開発
复制标题
实时STM观察掺杂离子辐照过程的离子束瞄准系统开发
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大泊 巌
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐藤 光;神岡 武文;風間 裕;大泊 巌