High temperature growth of AIN film by LP-HVPE
High temperature growth of AIN film by LP-HVPE
复制标题
LP-HVPE 高温生长 AIN 薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. tanaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Tsujisawa;S. Kishino;Y.H. Liu;H.Miyake;K. Hiramatsu;T. shibata;M. tanaka
