大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面への高密着性金属配線パターン作製
大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面への高密着性金属配線パターン作製
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使用大气压等离子体化学液相沉积在含氟聚合物表面上制造高粘合性金属布线图案
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
是津信行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大岡健人;秋山弘貴;山本悠人;原 安寛;山村和也;是津信行
