Precision Positioning of a Long-stroke Scanning Electrostatic Force Probe for Profile Measurement of Large Amplitude Micro-structured Surface
Precision Positioning of a Long-stroke Scanning Electrostatic Force Probe for Profile Measurement of Large Amplitude Micro-structured Surface
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长行程扫描静电力探头精密定位大振幅微结构表面轮廓测量
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhigang Jia;Gaofa He;Shigeaki Goto;Keiichiro Hosobuchi;So Ito;Yuki Shimizu;Wei Gao
