サファイア窒化法により作製したAIN薄膜の結晶性に及ぼす温度および窒素分圧の影響
サファイア窒化法により作製したAIN薄膜の結晶性に及ぼす温度および窒素分圧の影響
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温度和氮分压对蓝宝石氮化法制备AlN薄膜结晶度的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊田智行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsuyoshi Sekitani;Ute Zschieschang;Hagen Klauk;Takao Someya;熊田智行
