田久保 嘉隆: "Absolute density of metastastable atoms in a HeーArーSiH4 glow discharge" Proc.8th Symposium on Plasma Processing,Nagoya. 89-92 (1991)
田久保 嘉隆: "Absolute density of metastastable atoms in a HeーArーSiH4 glow discharge" Proc.8th Symposium on Plasma Processing,Nagoya. 89-92 (1991)
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Yoshitaka Takubo：“HeArSiH4 辉光放电中亚稳态原子的绝对密度”Proc.8th Symposium on Plasma Process，名古屋 89-92 (1991)。
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